移动作业平台整体安装说明及效果图：

1.由于显影和水洗段上Cover宽度较大，PM人员对Chamber内进行PM时无空间支撑，需要对显影和水洗段加装横跨Chamber的PM移动作业平台

2.显影段/水洗段由于Chamber高度不同，需要分别安装移动作业平台    
  

移动平台骨架整体效果图：

1.支撑骨架为80*80*2.5T，铝型材/移动导轨为40*40*2.5T，铝型材

2.导轨支撑架为SUS304，焊接件/U型卡扣为SUS304

3.导轨上方安装限位块

移动平台整体效果图：

1.左右两侧各安装2个平移轮/2个导正轮

2.移动平台四周安装定位肘夹

3.移动平台主要材质为铝材，踏台为防滑铝

DNS显影清洗段安装移动PM作业平台材料清单