改造原因：
CP Unit下方有大量PCW管路，因时间较长，部分管路接口在高压作用下，存在松动破裂造成漏液的风险；一旦发生漏液，设备下方无任何承漏装置，液体可直接从华星孔流至Subfab；Subfab放有大量电控柜及高压线缆，一旦遇水，后果严重。现评估在CP Unit下方加装承漏盒装置，避免液体外流。

改造方案：
在设备下方Frame之间加装承漏盒，无管路的部分承漏盒为整体式；有管路的部分承漏盒为拼接式，拼接处将管路密封包裹。

拼接式承漏盒效果图：
因存在管路干涉，管路下方承漏盒采用拼接式处理，拼接处将管路密封包裹，并用耐酸碱防水胶贴合；机台骨架与承漏盒用耐酸碱防水胶连接贴合；每个承漏盒都配备一个排水口并与其它整体式承漏盒排水口并联后接入厂务排水管。    

整体式承漏盒效果图：
机台骨架与导流板用耐酸碱的防水胶贴合；导流板与承漏盒用螺丝加防水胶连接贴合；每个承漏盒都配备一个排水口并与其它承漏盒排水口并联后接入厂务排水管。  

承漏盒底部效果图：
每个承漏盒底部都可以进行高度调整      

报警装置：
每个承漏盒里加装一支液体检知sensor，型号为：SUNX EX-F61(客户指定)；与设备其它Unit的漏液检知sensor并联。发生漏液，sensor做动，机台报“LEAK ALAM”，动力装置随即Stop。